石英晶体微量天平（QCM）的晶体振荡器通过使用的振荡分子的质量的方法，用于测量。

通常，当施加交流电时，由于厚度剪切模式共振器，石英晶体以一定的频率振动。频率取决于晶体的厚度，频率越低，频率越高。在1950年代，据报道发生了事件，输出频率和Q值根据晶体谐振器电极上物质的质量而变化，当粘附物数量增加时，输出频率降低，而粘附物数量减少时，输出频率降低。频率变化增加与沉积材料质量之间的关系由Sauerbrey方程。通过检测石英的频率变化来测量电极上物质的质量变化的方法称为石英微平衡法（QCM方法）。

查看Sauerbrey方程，右侧包含晶体单元的基频f ₀，该频率是与晶体频率的平方成正比的检测频率，晶体单元的基频越高。这意味着通过增加变化值可以提高质量检测灵敏度。在基本频率为27 MHz的石英晶体的情况下，理论上和实验上已经证实，频率降低1 Hz表示传感器表面的质量增加了0.62 ng / cm2 。

以前，石英板的振动在诸如液相的粘性环境中被强烈衰减，因此它不能振荡，并且石英晶体结构是一种将绝缘石英晶体夹在金属薄膜之间的冷凝器。在这样的导电性气氛中，存在两个电极都被通电的问题，因此仅限于气相中的分子的测定。

• 可以量化传感器表面吸附的纳克量。
• 无需标记生物分子（如蛋白质）即可在体内检测相互作用。
• 吸附反应可以实时测量。

由于可以在室温和常压下使用相对简单的设备检测微小分子，因此可以将其应用于各种应用。

• 化学物质检测
• 沉积过程中膜厚的测量